[#35] - 111/04/08 & 04/15平坦化關鍵製程技術課程

建議事項:
1. 課程內容多,建議加長上課時數
2. 講師有許多內容及經驗分享,很受用,但可能因時數不足,講師講課速度太快,覺得可惜,希望下
次還能有多一些時間聽老師分享
3. 課程內容稍難,大量知識在短時間上完,對老師學生都蠻累的
4. 建議可分章節供學員針對難易程度不同的課選擇
5. 4/8 課程相對難,如 4/8,4/15 對調更佳
6. 講義內容有部分圖片字體過小不易閱讀
7. 期望追加硬體類別解說,如相關機構設計注意事項
8. 對於物料特性量測可再深入說明

課後心得:
1. 學員覺得課程內容對實際工作增加了基礎的理論與技能相當實用，收穫良多且
對 CMP 製程有進一步的了解，有助於未來製程或機台設計, 有機會想再上許老
師開的課程。
2. 有學員因不是 CMP 相關所以有點吃力，但資料豐富願意再自行研讀。
3. CMP 參數資訊對解決工作上問題有幫助
4. 了解更多 post cleaning 的製程
5. 對 pad 修整有基本的認識