CMP 量測技術課程

各位親愛的會員：

本協會將於 108/12/06於國立台灣科技大學竹北前瞻研發中心舉辦CMP量測
技術課程,上午會由何信佳講師為各位講述研磨液相關的各種量測技術。課
程將依序進行背景簡介，包含半導體粒子檢測需求、量測技術概念；其次
講述以光學散射的量測方法，此法應用極廣且為現階段粒子量測主流，講
述內容特別以動態光和粒子計數器為主；再則講述電子顯微技術，包含穿
透式電子顯微鏡和掃描式電子顯微技術原理，及其應用於液態粒子的量測；
最後，講述新型溶液中奈米微粒量測技術，此技術建構在氣膠粒子量測方法
，可量得至數奈米顆粒，且較以往其他技術可提供團聚顆粒、工作顆粒和添
加劑等資訊。

下午則由陳俊賢講師為各位講述使用光學來量測半導體元件結構尺寸，以及
概述如何藉由所獲得的尺寸來增進CMP的效能。課程首先會介紹光學量測
(OCD Metrology)的原理以及背景，並闡述光學量測如何使用在產線上，並
與其他量測技術做比較。其次介紹先進製程控制技術，該技術是如何在CMP
製程和光學量測之間完成，並佐以實際例子來解釋。最後利用已公開的
FinFET製程流程，來讓學員更能了解CMP到底用在哪些製程站點，光學量測
又是在哪些製程中作量測以及其挑戰與困難點。

歡迎對平坦化技術有興趣者一同共襄盛舉。


【上課日期】：108/12/06 星期五

【上課地點】：國立台灣科技大學竹北前瞻研發中心二樓C研究室
(新竹縣竹北市福興路951號)※有提供免費停車場

【課程主題】：CMP 量測技術課程

【課程大綱】：

上午：CMP 量測技術課程 - 研磨液量測 講師：何信佳
1.半導體量測技術概念
2.光學量測技術 
3.奈米微粒量測技術    

下午：CMP 量測技術課程 – 光學量測  講師：陳俊賢
1.光學量測(OCD Metrology)的原理
2.先進製程控制技術
3.FinFET製程流程

課程首先會介紹光學量測(OCD Metrology)的原理以及背景，
並闡述光學量測如何使用在產線上，並與其他量測技術做比較。
其次介紹先進製程控制技術，該技術是如何在CMP製程和光學量測之間完
成，並佐以實際例子來解釋。最後利用已公開的FinFET製程流程，
來讓學員更能了解CMP到底用在哪些製程站點，
光學量測又是在哪些製程中作量測以及其挑戰與困難點。


【課程時間表】：2019/12/06課程時間表(點擊下載)


【講師簡介】：
何信佳講師(點擊下載)



陳俊賢講師(點擊下載)



【報名方式】：

1.線上報名：點我報名


【課程費用】：

課程費用需於開課前先行繳納全額費用
註冊
11/13前
11/13後
一般人士(網路會員)
NTD 3500
NTD 4000
CMPUG會員
NTD 2800
NTD 3200
【付款方式】：

1.匯款或轉帳繳費：請於匯款(掃描存根)或轉帳(後五碼)完成後寄至

5411erin@gmail.com(魏小姐) 信箱，經確認後會予以通知!

匯款資訊 (Remittance/Wire Transfer) Payment Method
匯款銀行 (Bank)
合作金庫銀行三興分行 (代號：006)
Taiwan Cooperative Bank International Department
SWIFT
TACBTWTP
戶名 (Beneficiary)
台灣平坦化應用技術協會
Chemical Mechanical Planarization User Group Taiwan
帳戶 (Account No)
1405717328730
匯款資訊 (Remittance/Wire Transfer) Payment Method
匯款銀行 (Bank)
玉山銀行大安分行 (代號：808)
E.SUN COMMERCIAL BANK, LTD.
SWIFT
ESUNTWTP
戶名 (Beneficiary)
社團法人台灣平坦化應用技術協會
附設半導體人才培訓中心
帳戶 (Account No)
0967-940-010917
2.刷卡繳費：信用卡訂購單(點擊下載)
完成填寫後請回傳至5411erin@gmail.com(魏小姐) 信箱。

【退費辦法】：
1.參訓學員需繳納課程費用始完成報名手續。
2.參訓學員已繳納課程費用，但因個人因素，於開訓10日前辦理退訓者，退
還90%課程費用；於開訓6日前辦理退訓者，退還50%課程費用；於開訓3日
前辦理退訓者，退還10%課程費用；課程當天辦理退訓者，不予退費。匯款
退費者，學員需自行負擔匯款手續費用(於退款金額中扣除)。
3.本協會受理學員報名並收取費用後，因故未開班或未能如期開班者；已收
取之費用將全額退還給學員(匯款退費者，由本協會負擔匯款手續費用)。
4.本協會受理學員報名並收取費用後，如因變更訓練時間、地點或其他重大
缺失等，致學員無法配合而需退訓者，已收取費用之費用將全額退還給學員
(匯款退費者，由本協會負擔匯款手續費用)。

【課程聯絡方式】：

魏小姐 03-5588380#1030

地址: 新竹縣竹北市福興路951號

e-mail: 
5411erin@gmail.com (魏小姐)
nancy@tianjietech.com (Nancy)